电子加速器加速管漏,但是用氦质谱检漏仪原理检不到...

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在目前氦质谱检漏仪的进展及其应用
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氦质谱电子测漏仪
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你可能喜欢常用的几种氦质谱检漏方法(1) - 真空技术网
常用的几种氦质谱检漏方法(1)
来源:真空技术网()第二炮兵工程学院 作者:孙新利
&&&&&&&&& 氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。
1、测定漏点型氦质谱检漏方法
&&&&&&&& 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。
1.1、喷氦法氦质谱检漏方法
&&&&&&&&& 这是最常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
图4  喷氦法检漏示意图
   在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图5 所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。
&图5  辅助检漏示意图
1.2、吸氦法氦质谱检漏方法
&&&&&&&&& 吸氦法主要用于检查某些。如导弹弹体、弹头、气罐、油罐等,先将容器抽,再给容器充入氦气(为了节省用氦量,可以用低浓度氦气) ,在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。
2、测定漏率型氦质谱检漏方法
图6  吸氦法检漏示意图
&&&&&&&&& 测定漏率型主要是针对密封性要求严格的部件进行检测,如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元器件等。这种方法只能测试试件的漏率,无法确定漏孔的位置和漏孔的个数。
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氦质谱检漏仪使用说明说
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你可能喜欢氦质谱检漏仪 VS系列
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氦质谱检漏仪 VS系列
产品价格:
产品型号:VS系列
品&牌:美国Agilent(原瓦里安)
公司名称:武汉普斯特科技有限公司
所&在&地:湖北武汉
发布时间:
浏览次数:4364
VS系列氦质谱检漏仪是一款精良的宽量程氦质谱检漏仪,它含有涡轮分子高真空泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱 仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作员界面,以及可选功能组件。VS MR15x 和 VS MD30x型号检漏仪可选用双轮车。 所有检漏仪型号都适用于 100/115 VAC 和 230 VAC。
产品详细信息
VS系列氦质谱检漏仪应用领域:氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备;电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆;高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源;电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。&特点:※多种语言和计量单位选择,可选中文界面※135& 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构※新的电子线路及信号处理设计※最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程※快速清氦和快速响应※测试口耐压高,可实现大漏检漏&技术规格:性能指标PR02/PD03MR15和MD30性能前级泵内置式前级泵外置式及小车前级泵油式机械泵DS-42, 2 m3/hr (34 l/m)DS-302, 14 m3/hr (232 l/m)涡卷式干泵干泵-2 m3/hr (34 l/m)TS-620 30 m3/hr (500 l/m)最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下5&10-12 atm cc/sec;5&10-12 mbar l/s;5&10-13Pa m3/sec ,氦气测试口最高耐压13 mbar,10 Torr,1330 Pa测试口处对氦气抽速1.8 l/s校准自动或手动(内置或外置)氦本底清零按键清零,并具有零点追踪功能操作界面高清晰彩显,TFT触摸屏语言选择中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语循环检测可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点响应时间<0.5秒设定点标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点通讯协议RS-232 通讯接口,9600波特率(9芯串口)执行标准UL,CE,CSA无限远程控制(选件)2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA电池/5VDC电源&&&
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