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蒸镀原理电子束蒸镀是利用加速电子轰击附近镀膜厂材料电子的动能转换成热能使附近镀膜厂材料加热蒸发,并成膜电子枪有直射式、环型和e型枪之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度可达l09w/cm2,电子束蒸镀机加热温度可达3000~6000℃,可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中可避免坩埚材料的污染,电子束蒸镀机厂商制備高纯薄膜;另外,由于蒸发物加热面积小因而热辐射损失减少,热效率高但结构较复杂,且对较多的化合物电子束蒸镀机价格,由於电子的轰击有可能分解故不适合多数化合物的蒸镀。电子束蒸镀常用来制备Al、C0、Ni、Fe的合金或氧化物膜Si02、Zr02膜,抗腐蚀和耐高温氧化膜
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电子束附近镀膜厂属于蒸镀还是溅射
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