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盐城盐城华美光电有限公司年产200万片LED蓝宝石衬底PSS
建设项目概况
1&建设项目的地点及相关背景
LED产业是最具竞争力的战略性产业，其发展势头日益显著。发展LED产业，是坚持科学发展、协调发展的必然要求。节能与环保，是当今世界经济发展的永恒主题。LED产业强大的节能与环保效应，使其成为引领世界经济的重要力量。到2012年左右，随着LED照明技术在技术与产能上的重大突破，LED照明将取代传统照明，其巨大的环保与节能效应将逐步显现。据测算，我国仅照明“换灯”一项，将会有每年400亿元的市场。为此，盐城华美光电有限公司拟在盐城经济技术开发区新征土地100亩（一期工程50亩，预留50亩），新建生产厂房，新购生产设备，本项目为一期工程，建成后实现年产200万片PSS的生产能力。公司未来的经营策略是：快速切入蓝宝石衬底图形化量化生产，抢占市场至高，并在短期内扩张生产线。围绕LED产业链上下扩张，不断提升公司赢利能力，尽快使公司形成规模效益，争取在三五年内上市。
2&建设项目内容
本项目场址位于盐城经济技术开发区光电产业园内，北至湘江路，西至五台山路，东、南面为园区规划用地。拟建项目所在地为规划工业用地，场地基本平整到位。项目基本情况见表1.2-1。
表1.2-1&&项目基本情况
年产200万片LED蓝宝石衬底PSS新建项目
盐城经济技术开发区光电产业园五台山路以东、湘江路以南
年工作日数为300天，四班二运转制，每班工作时间8h
15000万元人民币。本报告为一期工程项目，投资8000万元，其中环保投资675万元，占总投资的8.4%
总占地面积
总占地面积66666m2（约100亩），绿化面积12000m2，绿化覆盖率18%；本报告为一期工程项目,&占地面积33333&m2（合50亩），绿化面积约6000&m2。
厂内职工总人数42人
1.2.3项目生产工艺
一、工艺流程图
生产工艺流程图见图1.2-1。
二、工艺描述：
经过检验合格的来料蓝宝石底片领用后首先要经过清洗才能用于后续生产。清洗的工艺顺序为先酸洗（硫酸、双氧水），再进行入QDR（快排冲洗槽）采用纯水清洗，最后甩干。此工序中有固废硫酸、双氧水混合废液（S1）产生，硫酸因挥发产生废气（G1）、纯水清洗废水（W1）产生。
利用有特定图形的光刻版遮挡紫外光，并照射光刻胶使其感光。涂上光刻胶的蓝宝石底片通过光刻机进行曝光，透过光掩膜版对涂胶的硅片进行光照，使部分光刻胶得到光照，另外部分光刻胶得不到光照，从而改变光刻胶性质；曝光过程为自动，曝光时长和循环都是通过程序控制。
将曝光后的蓝宝石底片放入装有显影液（C4H13NO）的容器中进行显影，显影是对曝光后的光刻胶进行去除，由于光照后的光刻胶和未被光照的光刻胶将分别溶于显影液和不溶于显影液，未照到紫外光的光刻胶被显影液除去，留下与光刻版上相同的图形。显影结束后取出蓝宝石底片并用纯水清洗后用风枪吹干。此工序有废显影液（S3）和清洗废水（W2）产生。
5、黄光检验
光刻后检验，将光刻后可能出现的异常片挑出，主要的异常有：脱胶、箭影、方格等，异常片需要经过返工清洗后重新进行黄光制程。
烤箱约在120℃条件下，用N2作为辅助气体将晶体表面光刻胶中水份烘干，以使光刻胶形貌稳定，以便后蚀刻。
ICP（干法蚀刻）蚀刻是利用Cl-的电浆轰击蓝宝石底片表面，并在表面蚀刻出所需图形的一个过程，经过刻蚀蓝宝石底片的表面形成规则排列的三角锥形，即我们所称的PSS。
将显影后的蓝宝石底片放入干法蚀刻台（密闭）上，通过气体房的输气系统向蚀刻台中通入He、N2、Ar、O2、BCl3、SF6、CHF3等特种气体，使蓝宝石底片在等离子气态氛围中选择性腐蚀基材，在ICP干法刻蚀Al2O3过程中，BCl3气体是主要刻蚀物。一方面，等离子体中的BCl化学活性物可以去除样品表面的O，通过化学反应机理进行Al2O3材料的蚀刻；另一方面，等离子体中的BCl+2、&BCl+3在打断Al-O共价键（21.2eV）中起主要作用。其蚀刻机理如下式所述：
　　BCl3&→&BClx&+&Cl&(x=0,1,2)
　　Al2O3&+&BCl3&→&BOCly&+&AlCl&(y=1,2,3)
　　Al2O3&+&BClx&→&BOClz&+&AlCl&(z=1,2,3)
另外刻蚀工艺气体一般都会加入一些He、N2、Ar、O2辅助刻蚀气体。蓝宝石刻蚀速率随上电极功率的增加，不仅与离子轰击种类如BClx+、Clx+、Ar+等的增加有关，还与反应自由基的种类如BCl、Cl、Br等有关，这些都可以从Al2O3中除去Al或O。光刻胶刻蚀速率的增加也有类似的影响。
刻蚀工序中He、N2、Ar、O2起保护作用，SF6、CHF3起催化剂作用，不参加化学反应。刻蚀过程中有氯化物（反应生成的Al&Cl&(y=1,2,3)、BOClx，X=1，2，3）和未反应的BCl3等刻蚀废气（G3）产生。
ICP设备清洁：ICP设备使用后，设备内腔及管道等会有沉积的颗粒物等杂质，因此需每天进行清洁。清洁时采用丙酮、异丙醇进行擦洗，擦洗过程中有擦洗有机废液及丙酮、异丙醇等无组织废气产生。
将蚀刻后的蓝宝石底片放入装有98%硫酸、双氧水混合液中进行酸洗、去膜。结束后再用少量纯水进行清洗。此工序中此工序中有废硫酸（S4）废液、硫酸因挥发产生废气（G4）、纯水清洗产生的废水（W3）产生。
8、蚀刻检验
蚀刻后检验，对蚀刻后的蓝宝石底片进行初步的目检，判定品级。
蚀刻后的蓝宝石底片表面粘附有未反应完全的电浆等杂质，因此需要对其进行清洗。清洗的工艺顺序为先酸洗（硫酸、双氧水），再进行入QDR（快排冲洗槽）采用纯水清洗、甩干。此工序中有硫酸、双氧水混合废液（S5），硫酸因挥发产生废气（G5）等、纯水清洗废水（W4）产生。
利用显微镜对ICP每个run的产品抽检进行尺寸测定，以监控ICP蚀刻是否稳定；品保部对蚀刻后产品进行外观和尺寸的抽检。
对品保检验后的产品进行真空包装后入库。
3&建设项目选址优势及规划环评的相符性
.3.1&区位优势&
项目位于盐城市经济技术开发区东区光电产业园内，北至湘江路，西至五台山路，东、南面为园区规划用地，故其交通运输较为便利。所以，企业的原料获取和产品的外销都存在较大优势。
.2符合相关规划要求
1.3.2.1&与《江苏省国民经济和社会发展第十二五规划纲要》的相符性分析
根据《江苏省国民经济和社会发展第十二五规划纲要》，江苏省将大力发展战略性新兴产业。加强规划引导，深入实施新兴产业倍增计划，重点发展新能源、新材料、生物技术和新医药、节能环保、软件和服务外包、物联网和新一代信息技术等六大新兴产业，……新能源产业重点发展太阳能光伏、风电装备、生物质能装备、核电装备产业及高效低成本晶硅电池、薄膜电池、集成系统与设备、大功率风力发电机组、生物质能发电机组和核电装备关键零部件、新能源汽车，建设在国内外具有重要地位和较强竞争力的新能源产业研发、制造和应用示范基地。
本项目属于半导体产业，符合《江苏省国民经济和社会发展第十二五规划纲要》的具体要求。
1.3.2.2&与盐城市人民政府《关于进一步加强通榆河保护区项目准入管理的通知》的相符性分析
本项目选址于盐城经济技术开发区东区光电产业园，盐城经济技术开发区东区环评于2006年10月取得江苏省环保厅的批复（苏环管[2006]106号）,根据批复要求，应“重点发展汽车（不含铸造）、机械、纺织（不含印染）、电子等高科技工业项目”。本项目建设地属于开发区规划的光电产业园，符合开发区区发展规划要求。
3与地方管理要求的协调性分析
（1）根据《江苏省通榆河水污染防治条例》（2012年1月12日江苏省第十一届人民代表大会常务委员会第二十六次会议通过）中的相关要求：“通榆河及其两侧各一公里、主要供水河道及其两侧各一公里区域为通榆河一级保护区；新沂河南偏泓、盐河和斗龙港、新洋港、黄沙港、射阳河、车路河、沂南小河、沭新河等与通榆河平交的主要河道上溯五公里以及沿岸两侧各一公里区域为通榆河二级保护区。……在一级保护区内禁止：新设排污口；建设工业固体废物集中储存处置设施、场所和城市生活垃圾填埋场”。
本项目厂区位于五山路东、湘江路北，光电产业园内，西侧厂界距离通榆河约4500米，不在通榆河两侧的一级保护区范围内，也不在新洋港上溯五公里以及沿岸两侧各一公里的二级保护区范围内。本项目不新建排污口，废水送盐城建工环境水务有限公司集中处理达标排放。本项目能够满足《关于加强通榆河水污染防治的决定》中的相关要求。
（2）根据《关于明确苏北地区建设项目环境准入条件的通知》（苏环管[号）中规定：“不得新上、转移、生产和采用国家明令禁止的工艺和产品；禁止建设“十五小”项目、“新五小”项目以及国家明令淘汰和禁止发展的能耗物耗高、环境污染严重、不符合产业政策和市场准入条件的建设项目。……日起，苏北地区新建制革、化工、印染、电镀、酿造等项目，须进入通过区域环评且环保基础设施完善的开发区或工业集中小区。……禁止建设排放致癌、致畸、致突变物质和恶臭气体的项目、存在事故隐患且无法确保周边饮用水源安全的项目等。”
本项目建设年产200万片LED蓝宝石衬底PSS项目，投资额约8000万元，不属于“国家明令禁止的工艺和产品”，也不属于“十五小”、“新五小”项目；项目拟建于盐城经济技术开发区光电产业园，环保基础设施完善；本项目也不排放“致癌、致畸、致突变物质”，发生废水污染事故时也不会影响到通榆河的水源安全。盐城经济技术开发区东区已通过区域环评，因此本项目建设基本符合《关于明确苏北地区建设项目环境准入条件的通知》中的要求。
（3）《淮河流域水污染防治暂行条例》（日中华人民共和国国务院令第183号发）规定：
第二十一条&&在淮河流域河流、湖泊、水库、渠道等管理范围内设置或者扩大排污口的，必须依法报经水行政主管部门同意。
第二十二条&&禁止在淮河流域新建化学制浆造纸企业。禁止在淮河流域新建制革、化工、电镀、酿造等污染严重的小型企业。严格限制在淮河流域新建前款所列大中型项目或者其他污染严重的项目；建设该类项目的，必须事先征得有关省人民政府环境保护行政主管部门的同意，并报国务院环境保护行政主管部门备案。
建设项目不设置排污口，不属于禁止的“新建化学制浆造纸企业”，也不属于禁止的“新建制革、化工、电镀、酿造等污染严重的小型企业”和严格限制的“新建前款所列大中型项目或者其他污染严重的项目”，因此本项目建设符合《淮河流域水污染防治暂行条例》中的要求。
建设项目周围环境现状
1建设项目所在地的环境现状
（1）大气环境现状评价：评价区域内3个大气环境现状测点大气环境质量均能满足相关标准要求。区域大气环境质量较好。
（2）水环境现状评价：各监测断面的污染因子均满足《地表水环境质量标准》（GB）Ⅲ类水标准的要求。评价区域水环境质量总体较好。
（3）声环境现状评价：监测资料显示，各测点昼夜噪声监测值均满足《声环境质量标准》（GB）3类标准要求。
（4）地下水环境现状评价：对照国家《地下水质量标准》（GB/T14848-93）可知：各监测因子均符合Ⅲ类标准。地下水总体环境质量较好。
（5）评价区域内土壤监测因子均符合《土壤环境质量标准》（GB）中表1的二级标准。区内土壤质量现状较好。
2建设项目环境影响评价范围
（1）大气评价范围
以项目拟建地生产区为中心，半径2.5km的圆形区域范围。
（2）地表水评价范围
盐城建工环境水务有限公司尾水排放口上游300m至下游5000m河段。
（3）噪声评价范围
拟建项目厂区及厂界外200m范围。
（4）地下水评价范围
评价范围为以项目为中心20km2范围区域。
（5）风险评价范围
距离本项目风险源3&km范围。
3&建设项目环境影响预测及拟采取的主要措施与效果
1&建设项目的主要污染物产生及排放情况
3.1.1&建设项目废气产生及排放情况
拟建项目废气污染产生及排放情况见表3.1-1。
表3.1-1&&拟建项目废气污染产生及排放情况
排放源参数
排气量m3/h
酸洗、去胶
碱液喷淋吸收
活性炭纤维吸附
3.1.2&建设项目废水产生及排放情况
3.1.3&建设项目固废产生及排放情况
本项目产生的固体废物废活性炭（HW06）、废显影液（HW42）、废酸（HW43）、废有机溶剂（HW42）、废光阻（HW42）、废HMDS（HW43）、有机废水（HW49）、污泥（（HW49）送有资质单位处置。生活垃圾由环卫部门统一收集处理处置。全厂各类废物具体产生源强见表3.1-3。
表3.1-3&&固废产生源强及处理处置量
3.1.4&噪声产生源强
根据建设方提供的噪声源设备型号、规格，采用类比方法确定主要噪声源强。本项目生产设备属于精密设备，噪声值较低，且都位于封闭的车间内，产噪设备主要为公辅工程风冷模块机组、空压的机、风机、水泵等，具体见表3.1-4。
表3.1-4&噪声污染源强
所在车间名称
噪声源设备名称
距最近厂界
车间（屋顶）
风冷模块机组
废水处理站
2&建设项目评价范围内的环境保护目标分布情况
大气、水及声环境保护目标见表3.2-1。根据园区规划，项目周边园区规划红线内的现有少部分居民已列入拆迁范围，园区承诺负责拆迁完毕。
表3.2-1&&主要环境保护目标
环境保护目标
及保护目标
中南六组居民
环境空气质量达到《环境空气质量标准》二级标准
中南四组居民
1377户/4820人
地下水环境
所在区域地下水
项目所在地周边20km2范围
厂界200m范围
3.3建设项目的主要环境影响及预测评价结果
.1&大气环境影响预测
正常情况下，各项污染物的最大落地浓度远远低于评价标准，污染物对保护目标处影响甚微。
非正常情况下，各预测因子对外环境影响程度比正常工况显著增加，但均未超过相应标准要求，因此对废气处理设施要加强日常维护与检查，尽量减少由于设施出现故障的情况。
项目无需设置大气环境防护距离，项目厂房边界向外设置100米大气卫生防护距离。
3.3.2&地表水环境影响分析&
本项目废水经盐城建工环境水务有限公司处理后，对西潮河水环境影响很小。
3.3.3&环境噪声预测评价
从预测结果来看，项目对所有测点的影响值均能达到相应标准要求，为使噪声能稳定达标，确保项目投产后减轻对周围环境的噪声污染，必须重视对噪声的治理，采取切实有效的降噪措施：
（1）设计时应选用低噪声设备，合理布局；
（2）对于高声源设备车间设计时必须考虑隔音措施，如增加墙面厚度、选用隔声性能好的材料，增加隔声量，减少噪声污染；
（3）厂界周围种植高大树木，增加立体防噪效果，既美化环境又达到降尘和降噪的双重作用。
（4）以项目厂房边界向外设置100米噪声卫生防护距离。
.4&固体废物及其它环境影响分析
项目产生的固体废物主要为废活性炭（HW06）、废显影液（HW42）、废酸（HW43）、废有机溶剂（HW42）、废光阻（HW42）、废HMDS（HW43）、有机废水（HW49）、污泥（（HW49）送有资质单位处置。生活垃圾由环卫部门统一收集处理处置。全部处置或综合利用，不排放，对环境无影响。
.5&地下水环境影响分析
项目对当地地下水水质影响很小，地下水水质仍可达到《地下水质量标准》（GB/T14848-93）Ⅲ类标准。
3.3.7&社会环境影响分析
本项目项目建成后，有良好的经济效益和社会效益，对于促进和保障当地社会经济发展以及企业自身的壮大都具有重要意义。
建设单位及地方政府关注利益相关者的意见，针对本项目潜在的社会稳定风险采取了降低、化解矛盾的措施，对及时发现并化解项目实施过程中遇到的矛盾和问题，维护社会稳定。
环境风险分析建议
企业应该认真做好各项风险防范措施，完善现有的生产设施以及生产管理制度，储运、生产过程应该严格操作，杜绝风险事故。严格履行风险应急预案，一旦发生突发事故，企业除了根据内部制定和履行最快最有效的应急预案自救外，应立即报当地环保部门。在上级环保部门到达之后，要从大局考虑，服从环保部门的领导，共同协商统一部署，将污染事故的影响降低到最小。因此本项目风险为可接受水平。
建设项目环境保护措施的技术、经济论证结果
一、营运期大气环境保护措施论证
1、酸性废气、刻蚀废气
酸性废气是生产车间内各种酸性物质使用过程中挥发产生的酸雾(主要工段环节有酸清洗、刻蚀)，主要污染物为硫酸雾。刻蚀废气有氯化物〖（反应生成的AlClx，X=1，2，3、BOClx，X=1，2，3），未完全反应的剩余气体（BCl3）〗。对酸性废气、刻蚀废气产生的设备统一进行排风，捕集率约98%。酸性废气与刻蚀产生废气一并通入碱液喷淋吸收塔净化处理，洗涤后的废气由防腐离心风机经置于屋顶的1根15m高排气筒排放。
根据厂方提供的资料，刻蚀工序中He、N2、Ar、O2起保护作用，SF6、CHF3起催化剂作用，不参加化学反应。刻蚀工序中的大宗气体（He、N2、Ar、O2）及催化剂（SF6、CHF3）和氯化物一起收集后排入碱液喷淋吸收塔，但对这些气体基本不去除而直接排放，根据MSDS查询，因这些气体无色、无嗅，基本无毒，对周围大气环境影响很小。
2、匀胶有机气体
匀胶有机废气主要来自于匀胶工序，废气中主要污染物为TVOC，经收集并通过管道汇合后一起通入一套活性炭吸附系统处理。
依据《吸附法工业有机废气治理工程技术规范》(HJ)，采用降压解吸―再生液体吸收工艺，工艺流程如图5.1-1所示。
图5.1-1&降压解吸―再生液体吸收工艺流程图
匀胶工段主要是涂胶、软烤时会有废气产生，涂胶用匀胶机上方有集气罩，该集气罩对涂胶产生的有机废气捕集率可达96%以上；软烤时产生的有机废气直接由光刻机烤箱尾气管道收集，因此软烤废气捕集率达100%。综合，本项目有机废气的捕集率可达98%以上。
活性炭吸附系统对有机废气的去除率可达90%以上，处理后的废气经由15m高的2#排气筒排放。
有机废气经该工艺处理后可稳定达到《大气污染物综合排放标准》二级排放标准，活性炭吸附有机废气去除率高，对酸性废气也有较高的去除效率，工艺成熟，系统运行稳定，管理方便，该废气治理措施技术稳定可靠、经济可行。
本项目工艺废气经有效处理后，各污染物的排放浓度和排放速率均远小于相应的排放标准要求，废气防治措施可行。
3、无组织废气
建设单位通过以下措施加强以上无组织废气控制：
A．尽量保持生产车间和操作间(室)的密闭，合理设计送排风系统，提高废气捕集率，尽量将废气收集集中处理；
B．加强生产管理，规范操作，使设备设施处于正常工作状态，减少生产、控制、输送等过程中的废气散发；
C．对于酸洗、干法蚀刻、有机溶剂清洗废气散发面较大的工段，合理设计废气捕集系统，加大排风量和捕集面积，减少废气的无组织排放；
D、生产车间为超洁净室，全封闭式操作，易挥发有机、无机废气分别抽取到各废气净化系统中进行处理，再通过排气筒排放。废气处理系统划分合理，覆盖面大，基本消除了工艺废气在使用过程中的无组织排放源；废气处理措施完善，系统的净化效率较高；
E、项目大宗气体(氮气等)通过管道直接输送至生产车间，供气系统有一套完整的气体监控系统。包括：监控工作站、服务器、可程控器、网络界面、电脑周边设备、现场监控组件、警报显示系统等。在储存过程中气体挥发量小。
无组织废气经上述治理措施后可使无组织监控浓度达到《大气污染物综合排放标准》(GB)要求，并通过影响预测厂界可达标。因此，无组织治理措施可行。
4、排气筒设置合理性分析
根据工艺流程及气体污染物性质，本项目对工业废气进行分类收集和处理排放，共设置2根工艺废气排气筒(另设食堂油烟排气筒1根)，所有工艺废气排气筒均设置于生产车间，排气筒高度大于15m，排气筒高度满足国家《大气污染物综合排放标准》的要求。
本项目各污染物的排放浓度和排放速率能够满足相应排气筒高度的排放标准，能够实现达标排放。经预测，按本项目的排气筒设置，污染物的最大落地浓度占标率不到10%，对环境影响较小。
因此，本项目排气筒设置合理。
二、营运期水环境保护措施论证
根据工程分析中水量、水质分析，本项目工业废水主要包括清洗废水、洗涤塔排放废水等，厂内废水处理系统初步设计为综合废水处理系统。
1、废水预处理方案
本项目厂区排水系统采用清污分流、雨污分流体制。项目废水包括生产/公辅废水和生活污水。生产、公辅废水又分为清洗废水、喷淋吸收塔排放废水、纯水制备RO浓水、冷却水弃水。
清洗废水、洗涤塔排放废水经综合处理后与生活污水混合，一并接入盐城建工环境水务有限公司处理，达到《污水综合排放标准》(GB8978―1996)一级标准后，排入西潮河；纯水制备浓水直接厂内回用。
2、厂内废水处理系统
酸碱废水：酸碱废水系统由中和水池1、中和水池2、酸碱加药系统、搅拌器、输送水泵等组成。
酸碱废水经输送管道进入中和水槽1，中和水槽内配有高低液位计和pH计，当废水水位达到高液位时，废水输送管道上的阀门进行切换，废水进入中和水槽2，同时中和水槽1内中的搅拌器开始启动，酸碱加药系统通过pH的返回的信号，往中和水槽1内加入酸碱。当pH达到6-9时，加药泵停止工作，废水输送泵1启动将中和水槽1内的中和后的水排放。当中和水槽1的中和后的水排放完后输送泵1停止，并等待中和水槽2内的水位达到高液位后，废水输送管道上的阀门进行切换废水进入中和水槽1，于此同时对中和水槽2内的废水进行处理。酸碱废水处理达标后，直接排放到市政污水排水系统。
综上可知，本项目废水在厂排口可达到盐城建工环境水务有限公司接管标准，厂内废水处理工艺合理可靠、经济可行。
三、营运期声环境保护措施论证
项目营运期间的噪声主要来源于各类泵、风机、空压机、风冷冰机等生产设备的噪声。声级范围在80-90dB(A)左右，为连续排放。主要采取的防治措施有：在机械设备选型时，首先应选用低噪声环保型产品；并针对不同的噪声源相应的采取隔声、减振、消声等措施以减少噪声对环境的污染，使厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB）3类标准。
针对项目噪声源的特点，建设方拟采取以下噪声防治措施：
（1）生产设备噪声控制
合理布置噪声源，将生产设备均布置在厂房内，通过选用低噪声设备及加装建筑隔声围护结构、隔声门窗、消声通风窗等措施，将有效的降低设备噪声对生产区域和其他场所的影响。
（2）空压机、风机噪声控制
此类噪声频谱呈宽带特性，一般由空气动力性噪声和机械噪声组成，以空气动力性噪声为主。空气动力性噪声由旋转噪声和涡流噪声组成，主要从进气口和排气口辐射出来，机械噪声主要从电动机及机壳和管壁辐射出来，通过基础振动还会辐射固体噪声。噪声控制主要采用消声器和隔声及减振技术。
① 安装消声器：在进气和排气管道上安装适当的消声器，消声器类型可选择阻性片式、折板式、蜂窝式以及阻抗复合式等，消声器可使噪声源强降低10dB(A)以上。
② 设置隔声房：将空压机和风机封闭在密闭的厂房内，并在基座下加装隔振器，使从空压机和风机机壳、管道、机座以及电动机等处辐射出的噪声被隔离。
③ 管道包扎：为减弱从风管辐射出来的噪声，可用矿渣棉等材料对管道进行包扎，隔绝噪声由此传播的途径。管道与设备连接采用橡胶接头(由设备配套)。
（3）泵类噪声控制
泵类设备噪声主要来自液力系统和机械部件。液力噪声是由液体中的空穴和液体排出时的压力、流量的周期性脉动而产生的，机械噪声是由转动部件不平衡、轴承不良和部件共振产生的。一般情况下，液力噪声是泵噪声的主要成份。本项目将通过设置隔声房和采用减振基础的方式，水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以控制其噪声。
（4）风冷模块机组噪声控制
风冷模块机组的噪声与其他的动力设备装置相比，噪声并不突出，但是多数单位的冷却塔由于布设在临近厂界的厂房顶，其噪声对外界的影响不可忽视。
风冷模块机组设置于生产车间屋顶上，采取以下噪声控制措施：
①&选用低噪声风冷模块机组；
②&在安装设计上尽量使冷却塔远离敏感点；
③&在风冷模块机组的进风口处安装进风消声器(消声百叶窗)。
通过上述降噪措施后，噪声源声级可大大降低，通过噪声预测厂界噪声环境都能达标，可见采取的措施技术可行
四、营运期固废污染防治措施论证
本项目产生的固体废物废活性炭（HW06）、废显影液（HW42）、废酸（HW43）、废有机溶剂（HW42）、废光阻（HW42）、废HMDS（HW43）、有机废水（HW49）、污泥（（HW49）送有资质单位处置。生活垃圾由环卫部门统一收集处理处置。
为避免生产过程中产生的危险废物对环境的危害，建议采取以下措施：
（1）在收集过程中要根据各种危险废物的性质进行分类、收集和临时贮存，便于综合利用或者处置，不能将不相容的废物混合收集贮存，危险废物与其他固体废物严格隔离，禁止危险废物和生活垃圾混入；
（2）危险废物应当使用符合标准的容器分类盛装，无法装入常用容器的危险废物可用防漏胶袋等盛装；包装容器要注意密闭；禁止将不相容(相互反应)的危险废物在同一容器内混装；盛装危险废物的容器上必须粘贴符合标准的标签；装载液体、半固体危险废物的容器内须留足够空间，容器顶部与液体表面之间保留100mm以上的空间；
（3）公司设有专门的危废暂存室，可防风雨，地面为不渗水防泄漏环氧漆涂布；并于收集区域设有地沟，如有化学品泄漏，将截留于地沟中送至废水处理站处理；危险废物贮存室设有消防探头及24小时监控系统；
（4）运输过程中注意不同的危险废物要单独运输，固废的包装容器要注意密闭，以免在运输途中发生危险废物的泄漏，从而产生二次污染；
（5）项目厂区采取有效的防渗措施(如甲类化学品库、生产厂房、危废暂存室、污泥贮存室、污水管网等)，防止对地下水产生污染。
本项目固体废物综合处置率达100%，在落实好危险固废安全处置的情况下，不会造成二次污染，不会对周围环境造成影响，其固废防治措施是可行的。
五、土壤、地下水
（1）在处理或储存化学品的所有区域包括污水站水池均应做防渗漏处理，以确保任何物质的冒溢能被回收，从而防止环境污染。
（2）不在地下设置化学品输送管线，没有地下储存罐。
（3）固液废弃物在厂内暂存期间，如属有毒有害物质，将用桶或罐包装或存放，存放场地采用严格的防渗防流失措施，以免对地表水和地下水造成污染。
（4）工程建设过程中高度重视化学品存储区、固废存储区、污水站的防渗措施，以防污染土壤和地下水。设计时完善施工防渗措施，主要采用钢筋混凝土防渗结合防渗衬垫，施工时一次浇灌，并采用双成复合防渗衬垫。
（5）厂房设置雨水棚，防止雨水冲刷将车间内污染物通过地面渗透到土壤及地下水，对土壤和地下水造成污染。
具体而言，本项项目重点污染区防渗措施为：污水站、危险品仓库、事故应急池、固废堆场以及地下管线，采取粘土铺底，再在上层铺设1015cm的水泥进行硬化，并铺环氧树脂防渗；污水处理站所用水池、事故池均用水泥硬化，四周壁用砖砌再用水泥硬化防渗，全池涂环氧树脂防腐防渗。通过上述措施可使重点污染区各单元防渗层渗透系数≤10-10cm/s。
一般污染区防渗措施：生产区路面、垃圾集中箱放置地、车间仓库地面采取粘土铺地，再在上层铺10~15cm的水泥进行硬化。通过上述措施可使一般污染区各单元防渗系数&≤10-7cm/s。
建设项目对环境影响的经济损益分析结果
依据可行性报告，本项目一期工程建设总投资为8000万元，项目正常年份利润总额为3510.7万元，所得税税率按25%计算，税后利润为3439.3万元。项目所得税后利润提取10％的盈余公积金，其余部分为可供分配利润。项目总投资收益率为21.7%。
建设项目防护距离内的搬迁所涉及的单位、居民情况及相关措施
本项目位于光电产业园区内，属于工业用地，周围居民大部分都已经拆迁，周围100米内没有居民，在严格实施相关污染防治处理措施后，对周边环境影响较小。
建设单位拟采取的环境监测计划及环境管理制度
&环境监控计划
为有效地了解企业的排污情况和环境现状，保证企业排放的污染物在国家规定范围之内，确保企业实现可持续发展，保障职工的身体健康，必须对企业中各排污单位的排放口实行监测、监督。
3.8.1.1&环境监测机构
建立环境监测机构，配备专业技术人员及必备的仪器设备，具有定期监测的能力。根据建设项目的实际情况和污染源排放状况，合理配备环境监测管理人员和监测分析人员。
3.8.1.2&监测项目
1、废气监测
2、废水监测：
常规监测：每季度监测一次，采样点为厂区污水处理站总排口，监测因子为：pH、COD、SS、氨氮、总磷。
在线监测：在本项目废水及清下水接管排污口前各设一套在线监测系统，建议设备为pH、COD在线监测和流量计。
3、地下水监测：厂内污水处理站设置一个污染控制观测井，每季监测1次。监测项目：pH、高锰酸盐指数、氨氮、总硬度。
4、厂界噪声监测：在厂界附近布设4个点，每半年监测1天，昼夜各一次。监测因子为连续等效A声级。
若企业不具备上述污染源及环境质量的监测条件，须委托有关环保部门进行监测，对所监测的数据连同污染防治措施的落实和运行情况编制阶段报告和年度报告，定期上报当地有关环保部门。
3.8.1.4&人员配备、监测仪器设备
公司环境保护由总经理直接负责，职能科室设在生产部，各车间有兼职环保员负责本车间的环境保护管理。
若自身监测设备不能满足需要时，大气和水质部分因子的监测可委托当地监测站进行监测。
.2环境管理制度
项目建成后，应按照省市环保局的要求，加强企业内部的环境管理，建立健全的内部环境监督、管理制度。在试运行和正常生产过程中必须设立环境管理机构，配备专业环保管理人员1～2人，负责环境监督管理工作，同时加强对管理人员的环境保护知识的培训。
公司应对环境保护工作切实重视，制定一系列规章制度以促进工厂的环境保护工作，并通过经济杠杆来保证环境保护管理制度的认真执行。该公司应制订的环境保护工作制度有：
（1）环境保护管理制度。
（2）建设项目“三同时”管理制度。
（3）污水处理、排放管理制度。
（4）残渣管理制度。
（5）排污情况报告制度。
（6）污染事故处理制度。
（7）排水管网管理制度。
（8）环保教育制度。
公开环境信息
4.1.1&公示方式、公示时间
第一次公示：在盐城经济技术开发区管委会以张贴的方式对本项目基本情况进行了公示，公示时间从2013年3月15日起的10个工作日。
第二次公示：在盐城经济技术开发区环境保护公众网上（http://www.）对本项目基本情况进行了第二次公示，公示时间从2013年4月27日起的10个工作日。
在公示期间内，同样没有收到有关单位和个人对本项目的反对或投诉意见。
.1.2&公众意见调查内容
公众意见调查内容见表4.1-1。
表4.1-1&&江苏省建设项目环境保护公众意见征询表
盐城华美光电有限公司PSS项目
盐城经济技术开发区
项目建设位于盐城经济技术开发区湘江路南，五台山路东，总投资15000万元人民币，总占地面积66666m2。本环评项目为一期工程，总投资8000万元，占地面积33333&m2。项目预计2014年5月底建成投产，拟建项目利用外购的平坦蓝宝石衬底片加工生产PSS（图形蓝宝石衬底）片，年产量为200万片。主要环境影响为设备运行噪声、废气、生产废水及生活废水等。本项目的主要环保工程为废水预处理设施，经过处理后废水接管至盐城建工环境水务有限公司，废气经预处理后达标排放，采取消音、防震和隔音措施后，厂界噪声可控制在标准范围内。
被调查人情况
&&&&&&&乡(镇)&&&&&&村&&&&&组
1、您对环境质量现状是否满意
A很满意&&&&&B较满意&&&&&&&C不满意&&&&&&D很不满意
2、您认为现有生活环境中最不满意的因素为
A大气&&&&&B地表水&&&&&&&C噪声&&&&&&D垃圾&&&&&&E其他
3、您是否知道/了解该地区拟建设该项目
A不了解&&&&&B知道一点&&&&&C&很清楚
4、您是从何种信息渠道了解该项目信息
A报纸&&&&&&&B电视、广播&&&C标牌宣告&&&&D民间信息&&&&&&E不清楚
5、根据您掌握的情况，认为该项目对环境造成的危害/影响是
A严重&&&&&&&B较大&&&&&&&&&C一般&&&&&&&&D较小&&&&&&E不清楚
6、根据您掌握的情况，认为该项目对环境最主要的影响来自
A废水&&&&&&&B废气&&&&&&&&&C噪声&&&&&&&&D废物&&&&&&E其他
7、从环保角度出发，您对该项目持何种态度
A坚决支持&&&B有条件支持&&&C无所谓&&&&&&D反对
8、您认为本工程是否有利于经济收入的提高
A很有利&&&B较有利&&&C不利&&&D很不利&&E不知道
9、您对该项目环保方面有何建议和要求？
10、您对该项目环保审批方面有何建议和要求？
11、该项目新建可能会给您家庭带来什么影响？就业和收入怎样？
4.2&调查范围
向项目厂址周围可能受影响的附近部分居民介绍了项目情况及拟采取的环保措施、环境影响评价结论，同时发放120份调查表，共收回有效表格117份。
4.3&公众参与总结
47.86%的被调查者对本项目表示支持，44.44%的被调查者对本项目表示有条件支持，7.7%的被调查者对本项目表示无所谓，调查中没有反对者。
被调查者对本项目的建设提出了环保方面的建议和要求，概括起来包括以下几条：
①希望企业选用先进设备，最大限度地减少污染，确保达标排放，降低污染物对环境的影响，希望企业履行相关环保手续，按相关标准建设环保设备，确保污染物均能达标排放；
②希望企业加强对废水、废气和噪声的治理，保护居民的生存环境；
③项目建成投产后，应定期监测，并把数据如实地反馈给周围群众，保障周围群众的利益。
④项目的建设和招工应够照顾到当地居民的就业。
建设单位在听取公众的建议和意见后表示，对公众提出的宝贵意见将积极采纳并执行，在项目的建设和今后的运营过程中，将继续加强与公众的交流，以便及时了解公众意见。
环境影响评价结论
5.1.1&产业政策
本项目属于《产业结构调整指导目录（2011年本）》鼓励类中信息产业类第21条“新型电子元器件（片式元器件、频率元器件、混合集成电路、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板等）制造”。亦属于《江苏省工业结构调整指导目录》鼓励类中信息产业类第23条“新型电子元器件（片式元器件、频率元器件、混合集成电路、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板等）制造”。
综上所述，本项目符合国家产业政策、地方环保政策、以及园区环评批复的要求。
5.1.2&厂址可行性分析
项目厂址位于盐城经济开发区光电产业园内，用地为工业用地，符合规划发展要求；根据环境预测结论，在项目严格按照“三同时”要求实施环保措施后，项目的建设对周围环境影响不大；当地公众支持该技改项目的建设。
因此，在各项污染防治措施切实实施后，在生产中严格管理，严加防范泄漏事故发生，一旦事故发生，事故废水及废气均收集处理达标排放的前提下，项目厂址选择是可行的。
5.1.3&清洁生产和循环经济分析
项目在严格执行“三同时”制度、认真落实各项环保措施、确保污染物达标排放的情况下，原材料的单耗、单位产品的能耗及污染物产生量等指标均低于国际同类企业先进生产水平，符合清洁生产的要求。
通过循环经济分析，项目的建设符合循环经济理念，能完善企业结构，有利于企业和所在区域内的相关企业形成产业链，具有良好的经济、社会效益。
5.1.4&环境质量现状与预测评价
1、大气环境
（1）评价区内大气环境满足功能区要求；
（2）项目正常情况下排放硫酸雾、氯化物、等废气时，区域环境及敏感目标处的浓度值均非常小，能够满足相应的环境质量标准。
（3）非正常情况下，各预测因子在保护目标出的地面浓度虽有明显增加，但是在标准浓度允许范围内，对周围环境较小。因此应加强管理、加强设备的维护和检修，避免非正常情况的发生，减少对周围环境的影响。
（4）大气环境防护距离
由于项目所处工业园区，根据计算，项目无需设置大气环境防护距离；根据计算并结合厂区平面布置图，项目需设置100m卫生防护距离，周围200米范围内无居民居住，周围环境满足卫生防护距离的要求。
（1）根据现状监测，盐城建工环境水务有限公司排污口上游300米，下游3000米，西潮河水质指标符合《地表水环境质量标准》（GB）第三类标准，水质状况较好。
（2）正常情况下，项目工艺废水、地面冲洗水、初期雨水等经厂内污水处理设施处理达接管要求后排入污水管网，再进开发区东区污水处理厂集中处理达标后排入西潮河；生活污水经过化粪池处理达接管标准后排入污水管网，再进盐城建工环境水务有限公司集中处理达标后排入西潮河。因此，项目的废水排放对地表水影响较小。
（3）非正常情况下，项目废水处理达不到接管要求而排入污水管网，对工业园区污水处理厂的正常运行会造成一定的负荷冲击。因此，应设置事故池，在废水处理装置不正常时接纳事故污水，逐步分批将事故污水进行处理后再排入污水管网，杜绝废水未经处理而直接外排的事件发生。
3、噪声现状及影响预测
（1）噪声监测结果可知，8个测点现状值满足《声环境质量标准》（GB）中的3类标准。
（2）经预测，项目建成后，设备产生的噪声经降噪措施治理后厂界各预测点的昼间、夜间噪声预测值满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB）中3类标准，即昼间≤65dB(A)、夜间≤55dB(A)。
（3）以项目厂房边界向外设置100m噪声卫生防护距离。
4、固体废弃物影响分析
项目生产过程产生的废活性炭（HW06）、废显影液（HW42）、废酸（HW43）、废有机溶剂（HW42）、废光阻（HW42）、废HMDS（HW43）、有机废水（HW49）污泥（（HW49）等均属于危险固废，为了使危险固废能够及时做到安全、无害化处置，建设单位已与上海洁申实业有限公司签订处置协议。生活垃圾由开发区环卫部门收集后统一处理。因此，固体废物全部处置，对环境基本不造成影响。
5.1.5&污染防治措施
建设项目酸性废气、刻蚀产生有机废气经碱洗塔处理达标后由15米高排气筒排放。匀胶产生的TVOC采用活性炭吸附塔处理后经15m排气筒外排。满足《大气污染物综合排放标准》二级标准的限值要求。
建设项目实行雨污分流、清污分流。产生的生产废水经厂区内配套建设的污水处理站处理达盐城建工环境水务有限公司接管标准后，排放盐城建工环境水务有限公司处理，生活废水经化粪池（食堂含油废水经隔油池）处理后排放盐城建工环境水务有限公司处理。纯水制备浓水直接厂内回用。冷却水弃水作为清下水排入园区雨水管网。
三、声环境
选用高效低噪声的设备，高噪声设备均布置在室内或者不同时使用，合理布置厂区平面布局，利用隔声、减震、吸声、消声、绿化等措施控制厂界噪声，使项目噪声对周边声环境影响最小。
通过上述降噪措施后，噪声源声级可大大降低，通过噪声预测厂界噪声环境都能达标，可见采取的措施技术可行。
对固体废物进行分类收集、贮存，采用社会化协作。废活性炭、废显影液、废溶剂、废去胶液、废酸、废包装瓶和桶、综合废水处理污泥进行分类收集和专门收存，并交由具有资质的专业单位处置。生活垃圾由环卫部门统一收集处理处置。
项目危险废物暂存场地的设置按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB)要求进行设置，一般工业固废暂存场所的设置按照《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB)要求进行建设；同时，固体废弃物暂存场地考虑防风、防雨、防渗、防腐等措施。
5.1.6&总量控制及实现途径
根据项目周围环境空气现状评价结果，区域大气环境满足功能区要求，周围环境空气有一定容量；环境影响预测结果表明，本项目实施后，典型小时浓度、日均浓度、长期平均浓度满足相应评价标准要求，不改变区域大气环境功能。大气污染总量指标需向盐城市环保局申请，实现污染物总量在区域内平衡。
本项目废水纳入盐城建工环境水务有限公司集中处理，盐城建工环境水务有限公司有足够容量接纳本项目废水，外排环境的总量指标已含在园区污水处理厂总量指标内。故污水中各污染物总量可从盐城建工环境水务有限公司总量中划拨而得。
固废外排量为零。
5.1.7&公众参与
47.86%的被调查者对本项目表示支持，44.44%的被调查者对本项目表示有条件支持，7.7%的被调查者对本项目表示无所谓，没有被调查者表示反对。
5.1.8&环保投资
投资8000万元，其中环保投资675万元，占总投资的8.4%。企业完全有能力承担。
5.1.9&环境风险
本项目涉及多重危险化学品但无重大危险源，事故一旦发生，会对周边环境造成一定影响，企业应制定并配套建设相应的风险防范设施，采取相应的事故防范和应急措施，以杜绝重大污染事件的发生。本项目在落实报告书中提出的风险防范措施和应急救援措施后，其环境风险是可以接受的。
5.1.10&总结论
★项目符合当前国家产业政策和地方环保要求；
★项目符合园区规划要求，厂址选择合理；
★项目符合清洁生产要求和循环经济理念；
★项目能够满足国家和地方规定的污染物排放标准；
★项目废水、废气污染物达标排放，不改变当地的环境质量功能要求；噪声预测值昼夜达标；
★项目污染物排放总量能够在区域内实现平衡；
★项目有完善的环境风险防范措施和应急预案。
因此，在企业严格落实环保“三同时”措施后，项目的建设，从环保的角度看是可行的。
.2&建议及要求
（1）严格岗位责任制，加强生产管理，避免不必要的停车和失控造成的污染和损失。加强污染治理措施的落实和管理，并进一步改进处理工艺，减少处理费用。
（2）定期演习事故应急预案。
（3）对职工要定期进行清洁生产方面的宣传教育。
（4）常与公众沟通，及时解决公众提出的合理化建议。
（5）妥善处理/处置固体废物。
（6）建议加强对土壤、地下水的环境监管。
（一）建设单位概况
建设单位：盐城华美光电有限公司
联系人：安工
建设地点：盐城经济技术开发区湘江路南，五台山路东
联系电话：8
电子邮箱：
（二）承担评价工作的环评机构名称及联系方式
环评单位：南京国环环境科技发展股份有限公司
资质证书编号：国环评证甲字第1901号
联系人：蒋工
联系电话：&025－&&
电子邮箱：